MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)

1.유비쿼터스 컴퓨팅 요소기술로서 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)의 개요
  - 유비쿼터스를 구현하는 정보기술로서 물질공간을 전자화 시키는 기술과 전자공간을 물질화 시키는 정보기술중에서 물질공간을 전자화 시키는 핵심기술임
  - 물리공간 구석구석을 전자공간과 연결시키는 역할을 수행할 초소형 정밀기계 관련 기술
  - 입체적인 미세구조와 회로, 센서와 액추에이터를 실리콘 기판 위에 집적화 시킨 것으로 소형이면서도 복잡하여 고도의 동작을 하는 시스템으로 마이크로 시스템이나 마이크로 머신으로 불림

2.MEMS의 특징및 장점
 가.MEMS의 주요 특징
  - 칩 위에 집적된 시스템이며, 이를 제작하는 기술은 실리콘 가공기술에서 시작되었음
  - 기판에 밸브, 모터, 펌프, 기어 등의 미세 기계 요소 부품을 3 차원 구조로 만듬
  - 소형,경량,정교,Batch Process가능,집적회로 내장,고강도,박막,초박막,기능성,일체화

 나. MEMS 의 장 점
  - MEMS 공정은 반도체 제작 공정을 이용하므로 초소형(수 um ˜ 수백 um 크기)으로 제작 할 수 있으며, 일괄 공정에 의한 대량생산이 가능하여 소자의 크기와 단가 및 소비 전력을 크게 낮출 수 있음
  - 기계부품 과 센서, 전자회로 등을 한 칩에 집적하여 높은 신뢰도를 얻을 수 있음

3.MEMS의 필요기술및 활용분야
 가.MEMS의 필요기술
  - 실리콘 관련 기술
  - 유기소재 관련 기술
  - 패키징 기술
 나.MEMS의 활용분야
  - 3차원센서, 스마트 카드, 전자종이, 플렉서블 디스플레이

4.MEMS의 발전방향및 고려사항
 가.MEMS의 발전방향
  - 제품의 소형화,저가격화,고부가가치화를 추구하는 방향으로 기술발전 예상
  - 전자공간과 물리공간이 융합,연결되는 진정한 Ubiquitous 사회로 발전이 예상됨

 나.MEMS의 고려사항
  - MEMS 산업의 성장을 촉진하기 위하여서는 표준화를 통한 표준 라이브러리를 설정하여야 할 것임
  - 국가적 차원에서 추진되는 IT, BT, ET, NT 등의 기술 분야에서 MEMS 관련 제품 및 기술들의 중요성이 더욱 증가될 것임