MEMS 썸네일형 리스트형 MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 1.유비쿼터스 컴퓨팅 요소기술로서 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)의 개요 - 유비쿼터스를 구현하는 정보기술로서 물질공간을 전자화 시키는 기술과 전자공간을 물질화 시키는 정보기술중에서 물질공간을 전자화 시키는 핵심기술임 - 물리공간 구석구석을 전자공간과 연결시키는 역할을 수행할 초소형 정밀기계 관련 기술 - 입체적인 미세구조와 회로, 센서와 액추에이터를 실리콘 기판 위에 집적화 시킨 것으로 소형이면서도 복잡하여 고도의 동작을 하는 시스템으로 마이크로 시스템이나 마이크로 머신으로 불림 2.MEMS의 특징및 장점 가.MEMS의 주요 특징 - 칩 위에 집적된 시스템이며, 이를 제작하는 기술은 실리콘 가공기술에서 시작되었음 - 기판에 밸브, 모터, 펌프, 기어 등의 미세 기계.. 더보기 이전 1 다음